กล้องจุลทรรศน์อิเล็คตรอนแบบส่องกราด
พร้อมติตตั้งชุดวิเคราะห์ส่วนประกอบทางเคมี
(Scanning Electron Microscope - SEM/
Energy Dispersive Spectroscopy - EDS)
คุณลักษณะทั่วไป
กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนแบบส่องกราดเป็นเครื่องมือที่ใช้ตรวจสอบพื้นผิวชิ้นงาน
ที่กำลังขยายสูง โดยสามารถตรวจสอบชิ้นงานที่เป็นของแข็ง เช่น โลหะ พลาสติก
ยาง เซรามิก และชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ ด้วยลำแสงอิเล็กตรอนที่มีพลังงานสูง
ทำให้ได้แสงที่มีความเข้มสูงพอในการตรวจสอบพื้นที่ขนาดเล็ก และกระตุ้นพื้นผิวชิ้นงานให้ปลดปล่อย
พลังงาน เพื่อวิเคราะห์ธาตุที่เป็นองค์ประกอบทางเคมีวัสดุ
คุณลักษณะทางเทคนิค
- ศักย์ไฟฟ้าเร่ง 0.5 - 30 kv
- วิเคราะห์ธาตุที่เป็นองค์ประกอบทางเคมีบนพื้นผิวได้ทั้งแบบจุด
แบบพื้นที่และแบบเส้นตรง